Công suất mẫu cao hơn được h�?tr�?bởi Bàn soi thông minh mới được thiết k�?lại và h�?thống phát hiện Ultra-X EDS mới. Các tính năng này giúp tăng hiệu suất đo lường TEM khoảng 15% và phân tích nguyên t�?EDS nhanh hơn gấp 2 lần. Giai đoạn thông minh h�?tr�?tải mẫu hoàn toàn t�?động và điều hướng chính xác đến vùng quan tâm (ROI). Thấu kính công suất không đổi mới cho phép chuyển đổi cường đ�?cao trong vòng chưa đầy 20 phút, tăng tính kh�?dụng của thiết b�?/p>

Phân tích nguyên t�?nhanh

Metrios 6 (S)TEM với máy dò Ultra-X EDS mang đến mức đ�?phát hiện EDS mới cho các giải pháp thông lượng cao. Máy dò Ultra-X EDS tiên tiến cung cấp góc đặc 4,45 srad, mang lại hiệu qu�?thu thập d�?liệu cao hơn ít nhất gấp 2 lần so với th�?h�?máy dò trước đó. Điều này cho phép thu thập d�?liệu trong thời gian ngắn hơn mà vẫn đảm bảo tính toàn vẹn của các mẫu nhạy với chùm tia. Ngoài những kh�?năng này, Ultra-X còn m�?ra các cơ hội phân tích EDS mới với ph�?EDS sạch nhất, (<1% đỉnh gi�?.

T�?động hóa không cần công thức cho phép đo (S)TEM

T�?động hóa hoàn toàn, không cần công thức s�?dụng các thuật toán học máy đ�?giảm đáng k�?thời gian thiết lập t�?động hóa cho từng quy trình hoặc loại mẫu mới nhằm mang lại tính d�?s�?dụng và kh�?năng m�?rộng. T�?động hóa thông minh dành riêng cho ứng dụng h�?tr�?nhiều loại thiết b�?bán dẫn, chẳng hạn như cổng toàn diện (GAA), DRAM và 3D NAND. Thuật toán phát hiện đối tượng và phân đoạn dựa trên web mới cung cấp kh�?năng đào tạo mô hình v�?cấu trúc thiết b�?nhanh hơn 50 lần. Ngoài ra, T�?động hóa thông minh có th�?m�?rộng đ�?đáp ứng các yêu cầu sản xuất và R&D chất bán dẫn tiên tiến trong tương lai.

Năng suất và đo lường

Việc cải thiện hiệu suất bán dẫn và đẩy nhanh tốc đ�?sản xuất có th�?là một thách thức. Đ�?phức tạp 3D ngày càng tăng của các thiết b�?bán dẫn đang tạo ra nhu cầu chưa từng có v�?d�?liệu đo lường TEM chất lượng cao. Metrios 6 (S)TEM có phần cứng hiện đại và phần mềm t�?động hóa dựa trên máy học đ�?đo lường tham chiếu và giám sát quy trình. Giải pháp này được thiết k�?đ�?giúp các phòng thí nghiệm bán dẫn tăng công suất mẫu và thu thập d�?liệu khối lượng lớn nhằm tăng năng suất và đẩy nhanh thời gian thu được năng suất.

Đặc tính vật lý và hóa học

Việc phát triển các thiết b�?bán dẫn hiện đại đòi hỏi phải mô t�?đặc tính vật lý, cấu trúc và nguyên t�?trên các lỗi �?quy mô nguyên t�?với s�?xem xét đặc biệt đối với các vật liệu nhạy với chùm tia điện t�? Metrios 6 (S)TEM h�?tr�?quy trình chụp ảnh và mô t�?đặc tính linh hoạt đ�?phân tích nguyên nhân gốc r�?chính xác và phát triển quy trình nhanh hơn. Làm việc trên các vật liệu nhạy với chùm tia ph�?thuộc vào hiệu qu�?thu thập d�?liệu được nâng cao và mức đ�?tiếp xúc với chùm tia điện t�?�?mức tối thiểu đ�?duy trì tính toàn vẹn của d�?liệu. Metrios 6 (S)TEM có h�?thống phát hiện Ultra-X EDS và chuyển mạch điện áp cao nhanh đ�?xác định nhanh đặc tính vật lý và nguyên t�?của các thiết b�?bán dẫn.

Đo lường và phân tích thiết b�?b�?nh�?/strong>