ExSolve wafer TEM prep (WTP) DualBeam (FIB-SEM) của Thermo Scientific giúp giảm đáng kể chi phí và tăng tốc độ chuẩn bị mẫu, cung cấp cho các nhà sản xuất chất bán dẫn và bộ lưu trữ dữ liệu khả năng truy cập nhanh chóng và dễ dàng vào dữ liệu mà họ cần để xác minh và giám sát hiệu suất quy trình . ExSolve DualBeam có thể chuẩn bị lamella TEM dành riêng cho từng địa điểm, lấy mẫu nhiều vị trí trên mỗi tấm bán dẫn trong một quy trình hoàn toàn tự động bên trong nhà máy, cung cấp cho các nhà sản xuất chất bán dẫn nhiều thông tin hơn so với các phương pháp thông thường, đồng thời giảm chi phí vốn cho việc chuẩn bị mẫu lên tới đến 70%
Hệ thống ExSolve WTP DualBeam là một hệ thống chuẩn bị mẫu tự động, công suất cao, có thể chuẩn bị các tấm mỏng dày 20 nm dành riêng cho từng vị trí trên toàn bộ tấm bán dẫn có đường kính lên tới 300 mm. Đây là một phần của quy trình làm việc nhanh chóng, hoàn chỉnh bao gồm Thermo Scientific TEMLink và Thermo Scientific Metrios TEM . ExSolve DualBeam bao gồm xử lý FOUP và được thiết kế để đặt trong nhà máy gần dây chuyền sản xuất.
Quy trình làm việc ExSolve WTP DualBeam giải quyết nhu cầu của khách hàng yêu cầu lấy mẫu tự động, dung tích cao với công nghệ tiên tiến. Nó bổ sung cho các khả năng của Thermo Scientific Helios NanoLab DualBeam 1200AT, cung cấp các phương pháp chuẩn bị mẫu linh hoạt hơn, do người vận hành hướng dẫn, cùng với các khả năng bổ sung như chụp ảnh và phân tích bằng kính hiển vi điện tử quét (SEM) có độ phân giải cao.
Nghiên cứu và phát triển chất bán dẫn
Sự phức tạp ngày càng tăng của cấu trúc thiết bị bán dẫn, cùng với việc thu hẹp kích thước cấu trúc, có nghĩa là việc thiết kế các thiết bị thế hệ tiếp theo phức tạp và tốn thời gian hơn. Điều này, cùng với thực tế là số lượng các lựa chọn công nghệ và thiết kế sẵn có ngày càng tăng, có nghĩa là xác suất thành công về mặt thương mại của bất kỳ thiết kế cụ thể nào sẽ thấp hơn. Do đó, các nhà sản xuất thiết bị cần các thiết bị đáng tin cậy để giúp giảm số lượng tùy chọn khả thi có sẵn và giúp họ triển khai giải pháp nhanh hơn.
Đo lường bán dẫn
Thermo Fisher Scientific cung cấp bộ sản phẩm thế hệ mới với khả năng phân tích tiên tiến dành cho đo lường và kiểm tra chất bán dẫn. Các giải pháp này được thiết kế để giúp tăng năng suất trong các phòng thí nghiệm chế tạo chất bán dẫn bằng cách cải thiện khả năng kiểm soát chất lượng và năng suất trong sản xuất các thiết bị logic, 3D NAND, DRAM, analog, nguồn và hiển thị.
Phân tích lỗi bán dẫn
Các thiết bị phân tích nâng cao có thể phát hiện bất kỳ lỗi điện ảnh hưởng đến năng suất, độ tin cậy hoặc hiệu suất. Do đó, có thể giảm thời gian và chi phí liên quan đến việc cách ly lỗi điện bằng cách trích xuất nhanh chóng dữ liệu lỗi toàn diện từ mẫu.
Phân tích đặc tính vật liệu bán dẫn
Việc mô tả đặc tính nâng cao của thiết bị giúp đạt được hiệu suất cần thiết, dự đoán và kiểm soát các đặc tính cấu trúc, vật lý và hóa học, cũng như liên hệ dữ liệu mô tả đặc tính với kết quả kiểm tra tham số
Chuẩn bị mẫu TEM
Hệ thống Thermo Scientific DualBeam cung cấp khả năng chuẩn bị mẫu TEM chính xác để phân tích các thiết bị bán dẫn ở quy mô nguyên tử. Công nghệ tự động hóa và máy học tiên tiến tạo ra các mẫu chất lượng cao, ở đúng vị trí và chi phí cho mỗi mẫu thấp.
Đo lường TEM
Quy trình đo TEM tự động và nâng cao mang lại độ chính xác cao hơn đáng kể so với các phương pháp thủ công. Điều này cho phép người dùng tạo ra một lượng lớn dữ liệu có liên quan về mặt thống kê, với độ đặc hiệu ở cấp độ dưới một angstrom.
EN