Bắn cá - Công ty TNHH trò chơi

Helios 6 HD – Kính hiển vi ion hội tụ kết hợp điện tử quét (FIB-SEM)

Helios 6 HD FIB-SEM đáp ứng nhu cầu ngày càng tăng về chuẩn bị mẫu cho TEM trong lĩnh vực bán dẫn

Kính hiển vi ion hội tụ kết hợp điện tử quét Thermo Scientific Helios 6 HD (FIB-SEM) được thiết kế để đáp ứng nhu cầu của ngành về khối lượng dữ liệu TEM chất lượng cao cao hơn để phân tích và đo lường lỗi. Sự bổ sung này vào dòng thiết bị DualBeam tiêu chuẩn công nghiệp của Thermo Scientific giúp tăng chất lượng và năng suất mẫu, từ đó mang lại dữ liệu TEM tốt hơn. Việc tạo ra dữ liệu TEM chất lượng cao hơn sẽ cung cấp thông tin hữu ích để tối đa hóa năng suất

Tính sẵn có của dụng cụ chuẩn bị mẫu TEM

Helios 6 HD FIB-SEM tối đa hóa việc sử dụng hệ thống và giảm chi phí vận hành với cột Osprey FIB mới. Cột FIB Osprey với khả năng căn chỉnh cột và nguồn tự động nâng cao giúp giảm nhu cầu can thiệp của người vận hành và kỹ thuật viên dịch vụ. Ngoài ra, Bộ điều khiển Nano Thermo Scientific EasyLift mới giúp kéo dài tuổi thọ kim và giảm thời gian thay kim để giảm thiểu gián đoạn sản xuất.

Công suất chuẩn bị mẫu TEM

Helios 6 HD FIB-SEM có Phần mềm Thermo Scientific AutoTEM 6, thực hiện việc căn chỉnh tự động và tăng cường quản lý lưới để thiết lập nhanh hơn. Công cụ quét kỹ thuật số hoàn toàn mới cho phép tạo ảnh và phay SEM đồng thời, đồng thời cung cấp khả năng xoay quét chính xác và định vị mẫu chính xác. Những cải tiến về phần cứng và phần mềm này tối đa hóa công suất lấy mẫu ở từng địa điểm cụ thể.

Chất lượng mẫu TEM

Tỷ lệ thành công và chất lượng của mẫu là hết sức quan trọng, bất kể loại mẫu hay độ phức tạp của mẫu. Các phòng thí nghiệm phân tích lỗi phải cung cấp dữ liệu TEM chất lượng cao từ mọi mẫu phân tích lỗi hoặc đo lường.

Helios 6 HD FIB-SEM chứa công cụ quét kỹ thuật số mới và kiến ​​trúc điều khiển FIB-SEM, cung cấp khả năng định điểm cuối thủ công hoặc bán tự động để tách biệt chính xác tính năng quan tâm trong mẫu. Ngoài ra, cột FIB Osprey mới giúp cải tiến quá trình phay kV thấp. Những tính năng này kết hợp để cung cấp các mẫu TEM chất lượng cao, giúp bạn trả lời các câu hỏi phân tích khó khăn nhất.

Đo lường TEM

Hình ảnh STEM được ghép cho đo lường bán dẫn

Helios 6 HD FIB-SEM tạo ra khối lượng lớn mẫu TEM với độ lặp lại cao, lý tưởng cho phép đo tham chiếu TEM bán dẫn. Helios 6 HD FIB-SEM bổ sung cho các TEM Thermo Scientific Spectra, Talos và Metrios, mang lại dữ liệu đo lường TEM đáng tin cậy, hiệu quả cao.

  • Cột FIB mới với khả năng căn chỉnh cột và nguồn tự động giúp tăng độ ổn định và khả năng phay kV thấp.
  • Công cụ quét và tạo mẫu kỹ thuật số mới cho phép chụp ảnh SEM và phay FIB đồng thời, cho phép định vị điểm cuối chính xác hơn và năng suất cao hơn.
  • Ứng dụng nhắm mục tiêu phần mềm AutoTEM 6 được thiết kế để tận dụng tối đa nền tảng phần cứng của Helios 6 HD FIB-SEM mới. Phần mềm hỗ trợ AI này tự động căn chỉnh tất cả các vị trí lưới/ngón tay, mang lại khả năng quản lý lưới nâng cao và giảm thời gian thiết lập.
  • Khoảng thời gian dài hơn giữa các lần trao đổi EasyLift NanoManipulator và thay thế hợp lý, dẫn đến tăng tính khả dụng của hệ thống và kết quả nhất quán.