Với phạm vi độ nhạy 0,3 μM-10 μM, độ chính xác và độ lặp lại của dữ liệu thông qua hiệu chuẩn tuân thủ ISO 21501, 6003 đáp ứng các nhu cầu cụ thể về vận hành phòng sạch trong ngành dược phẩm, chất bán dẫn, ổ đĩa cứng và tấm phẳng. 6003 dễ dàng tích hợp vào bất kỳ hệ thống giám sát cơ sở nào. 6003 cung cấp khả năng giám sát hạt liên tục chính xác và đáng tin cậy. Điốt laser có tuổi thọ cao đồng nghĩa với việc các bộ phận thay thế có thể sử dụng được nhiều năm, cộng với các tính năng chẩn đoán đứng đầu trong ngành giúp giảm thời gian khắc phục sự cố và chi phí ngừng hoạt động liên quan. Phiên bản 6003 này có tốc độ dòng chảy 0,1 CFM (2,83 LPM), độ nhạy 0,3 μM ở 0,1 CFM (2,83 LPM) và phạm vi từ 0,3 μM đến 10,0 μM ở 0,1 CFM (2,83 LPM). Hiệu suất đếm là 50% (± 20%) cho 0,3 μM (100% ± 10% ở mức 1,5 lần độ nhạy tối thiểu). Hoàn toàn tuân thủ ISO21501-4. Đầu ra là cổng nối tiếp RS-232. Bao gồm dòng chảy, thoát khí và nâng cấp ASSY.