SEM để bàn với khả năng EDS để phân tích nguyên tố và SEM mạnh mẽ, dễ dàng và linh hoạt.
Dòng kính thế hệ thứ 6 của Thermo Scientific Phenom ProX G6 Desktop SEM đã cải tiến các tính năng giữa kính hiển vi ánh sáng và phân tích SEM đặt sàn, do đó mở rộng khả năng của các cơ sở nghiên cứu. Nó cung cấp hình ảnh nhanh, độ phân giải cao cùng với đầu dò phổ tán sắc năng lượng tia X (EDS) tích hợp để phân tích nguyên tố nhanh chóng, dễ sử dụng và mạnh mẽ.
| Độ phóng đại quang học |
|
| Độ phóng đại quang điện tử |
|
| Độ phân giải |
|
| Phóng to kỹ thuật số |
|
| Camera định vị quang học ánh sáng |
|
| Điện áp gia tốc |
|
| Chế độ chân không |
|
| Máy dò |
|
| Kích thước mẫu |
|
| Chiều cao mẫu |
|
Phenom Pro Desktop SEM có thể được sử dụng để tối ưu phân tích các mẫu thường quy từ các thiết bị SEM đặt sàn. Cấu hình thiết bị và cơ chế nạp mẫu đảm bảo chụp ảnh nhanh chóng với thời gian điều chỉnh tối thiểu giữa các lần thử nghiệm.
Người dùng cơ sở ở bất kỳ cấp độ kinh nghiệm nào cũng có thể tạo ra kết quả chất lượng cao, nhanh chóng với Phenom Pro Desktop SEM. Nguồn CeB6 có tuổi thọ cao mang lại độ sáng cao trong khi yêu cầu bảo trì thấp.
Độ ổn định cao và hệ số dạng nhỏ cho phép sử dụng thiết bị trong thực tế mọi môi trường phòng thí nghiệm; nói một cách đơn giản hơn, nó không yêu cầu cơ sở hạ tầng chuyên biệt hoặc sự giám sát của chuyên gia.
Ngành công nghiệp hiện đại đòi hỏi năng suất cao với chất lượng vượt trội, sự cân bằng được duy trì thông qua kiểm soát quy trình mạnh mẽ. Các công cụ SEM và TEM với phần mềm tự động hóa chuyên dụng cung cấp thông tin nhanh chóng, đa quy mô để theo dõi và cải tiến quy trình.
Kiểm soát và đảm bảo chất lượng là rất cần thiết trong ngành công nghiệp hiện đại. Thermo Fisher cung cấp một loạt các công cụ EM và quang phổ để phân tích lỗi ở nhiều quy mô và đa phương thức, cho phép đưa ra các quyết định đáng tin cậy và sáng suốt để kiểm soát và cải tiến quy trình.
Các vật liệu mới được nghiên cứu ở quy mô ngày càng nhỏ hơn để kiểm soát tối đa các tính chất vật lý và hóa học của chúng. Kính hiển vi điện tử cung cấp cho các nhà nghiên cứu cái nhìn sâu sắc về nhiều đặc tính vật liệu ở quy mô vi mô đến nano.
Sự phức tạp ngày càng tăng của cấu trúc thiết bị bán dẫn, cùng với việc thu hẹp kích thước cấu trúc, có nghĩa là việc thiết kế các thiết bị thế hệ tiếp theo phức tạp và tốn thời gian hơn. Điều này, cùng với thực tế là số lượng các lựa chọn công nghệ và thiết kế sẵn có ngày càng tăng, có nghĩa là xác suất thành công về mặt thương mại của bất kỳ thiết kế cụ thể nào sẽ thấp hơn. Do đó, các nhà sản xuất thiết bị cần các thiết bị đáng tin cậy để giúp giảm số lượng tùy chọn khả thi có sẵn và giúp họ triển khai giải pháp nhanh hơn.
Thermo Fisher Scientific cung cấp bộ sản phẩm thế hệ mới với khả năng phân tích tiên tiến dành cho đo lường và kiểm tra chất bán dẫn. Các giải pháp này được thiết kế để giúp tăng năng suất trong các phòng thí nghiệm chế tạo chất bán dẫn bằng cách cải thiện khả năng kiểm soát chất lượng và năng suất trong sản xuất các thiết bị logic, 3D NAND, DRAM, analog, nguồn và hiển thị.
Các thiết bị phân tích nâng cao có thể phát hiện bất kỳ lỗi điện ảnh hưởng đến năng suất, độ tin cậy hoặc hiệu suất. Do đó, có thể giảm thời gian và chi phí liên quan đến việc cách ly lỗi điện bằng cách trích xuất nhanh chóng dữ liệu lỗi toàn diện từ mẫu.
Việc mô tả đặc tính nâng cao của thiết bị giúp đạt được hiệu suất cần thiết, dự đoán và kiểm soát các đặc tính cấu trúc, vật lý và hóa học, cũng như liên hệ dữ liệu mô tả đặc tính với kết quả kiểm tra tham số
Phần mềm lập bản đồ nguyên tố hiện tượng nhiệt khoa học cung cấp thông tin nhanh chóng và đáng tin cậy về sự phân bố các nguyên tố hóa học trong mẫu.
Nghiên cứu vật liệu hiện đại ngày càng phụ thuộc vào phân tích ba chiều ở cấp độ nano. Có thể mô tả đặc tính 3D, bao gồm dữ liệu thành phần cho bối cảnh hóa học và cấu trúc đầy đủ bằng phương pháp quang phổ tia X 3D EM và phân tán năng lượng.
EDS có độ phân giải nguyên tử cung cấp bối cảnh hóa học vượt trội cho việc phân tích vật liệu bằng cách phân biệt các nguyên tố của từng nguyên tử. Khi kết hợp với TEM độ phân giải cao, có thể quan sát chính xác cấu trúc của các nguyên tử trong mẫu.
Nghiên cứu vật liệu trong điều kiện thực tế thường liên quan đến làm việc ở nhiệt độ cao. Hành vi của vật liệu khi chúng tái tinh thể hóa, tan chảy, biến dạng, hoặc phản ứng dưới sự hiện diện của nhiệt có thể được nghiên cứu trực tiếp trong điều kiện với kính hiển vi điện tử quét hoặc các công cụ DualBeam.
Cần phải quan sát trực tiếp, theo thời gian thực các thay đổi cấu trúc vi mô bằng kính hiển vi điện tử để hiểu các nguyên tắc cơ bản của các quá trình động như kết tinh lại, phát triển hạt và chuyển pha trong quá trình gia nhiệt, làm lạnh và làm ướt.
Các vật liệu mới cần được phân tích ở độ phân giải càng cao càng tốt trong khi vẫn giữ nguyên bối cảnh lớn của mẫu. Phân tích đa quy mô cho phép liên kết giữa các công cụ và phương pháp hình ảnh khác nhau như X-ray microCT, DualBeam, Laser PFIB, SEM và TEM
Kính hiển vi điện tử quét cung cấp dữ liệu đo lường chính xác và đáng tin cậy ở quy mô nanomet. Đo lường SEM có độ phân giải cực cao tự động cho phép rút ngắn thời gian tạo ra sản phẩm và tiếp thị cho các ứng dụng bộ nhớ, logic và lưu trữ dữ liệu.
Thermo Fisher Scientific cung cấp kính hiển vi điện tử quét cho mọi chức năng của phòng thí nghiệm bán dẫn, từ các tác vụ tạo ảnh thông thường đến các kỹ thuật phân tích lỗi nâng cao yêu cầu đo độ tương phản điện áp chính xác.
Thiết bị X-ray
Kính hiển vi điện tử quét (SEM)
Kính hiển vi điện tử quét (SEM)
Kính hiển vi điện tử quét (SEM)
Kính hiển vi điện tử quét (SEM)
Kính hiển vi điện tử quét (SEM)
Phenom ParticleX AM Desktop SEM – Kính hiển vi điện tử để bàn
EN