Kính hiển vi điện tử truyền qua Spectra 300
Để các nhà khoa học nâng cao hiểu biết về các mẫu phức tạp và phát triển các vật liệu cải tiến, họ phải có quyền truy cập vào thiết bị đo chính xác, mạnh mẽ có khả năng tương quan giữa hình thức và chức năng, cũng như giải quyết không gian, thời gian và tần số.
Thermo Fisher Scientific giới thiệu Thermo Scientific Spectra 300 (S)TEM – kính hiển vi điện tử truyền qua quét, có độ phân giải cao nhất, hiệu chỉnh quang sai cho tất cả các ứng dụng khoa học vật liệu.
Ưu điểm của Kính hiển vi điện tử truyền qua Spectra 300
Tất cả Spectra 300 (S)TEM đều được cung cấp trên nền tảng mới được thiết kế để mang lại mức độ ổn định cơ học chưa từng có và chất lượng hình ảnh cao nhất mặc dù khả năng cách ly thụ động và chủ động (tùy chọn).
Hệ thống được đặt trong một vỏ bọc được thiết kế lại hoàn toàn với màn hình hiển thị tích hợp để tải và lấy mẫu vật thuận tiện. Lần đầu tiên, tính mô-đun đầy đủ và khả năng nâng cấp có thể được cung cấp giữa các cấu hình không được điều chỉnh và cấu hình được điều chỉnh đơn với chiều cao thay đổi, cho phép sự linh hoạt tối đa cho các cấu hình buồng khác nhau.
Các nguồn có độ phân giải năng lượng cao có sẵn trên Spectra 300 (S)TEM
Spectra 300 (S)TEM có thể được trang bị tùy chọn súng phát xạ trường cực trị có độ phân giải năng lượng cao (X-FEG)/Mono hoặc X-FEG/UltiMono có độ phân giải năng lượng cực cao. Bộ đơn sắc của cả hai nguồn được tự động kích thích và điều chỉnh chỉ bằng thao tác một lần nhấn chuột để đạt được độ phân giải năng lượng cao nhất có thể trên mỗi cấu hình bằng cách sử dụng OptiMono hoặc OptiMono+ tương ứng
Cũng có thể định cấu hình với nguồn X-CFEG có độ sáng cực cao
Spectra 300 (S)TEM có thể được cấp nguồn tùy ý bằng súng phát xạ trường lạnh mới (X-CFEG). X-CFEG có độ sáng cực cao (>>1,0 x 108 A/m2/Sr/V*), mức lan truyền năng lượng thấp (<0,4 eV) và có thể hoạt động từ 30 – 300 kV. Điều này cung cấp hình ảnh STEM có độ phân giải cao đồng thời với dòng đầu dò cao cho thông lượng cao, phân tích STEM thu thập nhanh song song với độ phân giải năng lượng cao. Với sự kết hợp mạnh mẽ giữa X-CFEG và bộ hiệu chỉnh quang sai đầu dò S-CORR, có thể thường xuyên đạt được độ phân giải hình ảnh STEM dưới Angstrom (<0,8 Å) với dòng đầu dò trên 1000 pA.
Cung cấp hiệu suất hình ảnh STEM có độ phân giải cao nhất
Sự kết hợp giữa độ ổn định cơ học nâng cao, khả năng hiệu chỉnh quang sai đầu dò bậc 5 mới nhất và khe hở rộng có độ phân giải cao (S-TWIN) đã tạo ra một thiết bị có thông số kỹ thuật về độ phân giải STEM cao nhất
Độ nhạy cao với hệ thống phát hiện Panther STEM
Hình ảnh STEM trên Spectra (S)TEM đã được mô phỏng lại bằng hệ thống phát hiện Panther STEM, bao gồm hệ thống thu thập dữ liệu mới và hai máy dò STEM vòng và đĩa tám đoạn mới, trạng thái rắn (tổng cộng 16 phân đoạn). Hình dạng máy dò mới cung cấp quyền truy cập vào khả năng chụp ảnh STEM tiên tiến kết hợp với độ nhạy để đo các electron đơn lẻ.
Khả năng chụp ảnh STEM nâng cao
Spectra 300 (S)TEM có thể được cấu hình bằng máy dò mảng pixel kính hiển vi điện tử (EMPAD) hoặc Camera Thermo Scientific Ceta với khả năng cải thiện tốc độ để thu thập các bộ dữ liệu 4D STEM.
Tính linh hoạt của quang phổ
Từ ánh xạ nguyên tố có tỷ lệ tín hiệu thông lượng cao trong EDS và EELS đến trạng thái oxy hóa và thăm dò phonon bề mặt với EELS có độ phân giải cực cao, Spectra 300 (S)TEM cung cấp tính linh hoạt quang phổ để đáp ứng phạm vi rộng nhất của yêu cầu phân tích.
Khả năng thử nghiệm in situ
Spectra 300 (S)TEM chấp nhận nhiều loại đầu cặp cho thí nghiệm in situ với khe hở rộng S-TWIN. Dòng giá đỡ Thermo Scientific NanoEx có thể được tích hợp liền mạch với kính hiển vi, cho phép gia nhiệt dựa trên thiết bị MEMS để chụp ảnh nguyên tử ở nhiệt độ cao.
Kiểm soát quá trình bằng kính hiển vi điện tử
Ngành công nghiệp hiện đại đòi hỏi năng suất cao với chất lượng vượt trội, sự cân bằng được duy trì thông qua kiểm soát quy trình mạnh mẽ. Các công cụ SEM và TEM với phần mềm tự động hóa chuyên dụng cung cấp thông tin nhanh chóng, đa quy mô để theo dõi và cải tiến quy trình.
Kiểm soát chất lượng và phân tích lỗi
Kiểm soát và đảm bảo chất lượng là rất cần thiết trong ngành công nghiệp hiện đại. Thermo Fisher cung cấp các thiết bị EM và quang phổ để phân tích các lỗi ở nhiều quy mô và đa phương thức, cho phép bạn đưa ra các quyết định đáng tin cậy và sáng suốt để kiểm soát và cải tiến quy trình.
Nghiên cứu vật liệu cơ bản
Các vật liệu mới được nghiên cứu ở quy mô ngày càng nhỏ hơn để kiểm soát tối đa các tính chất vật lý và hóa học của chúng. Kính hiển vi điện tử cung cấp cho các nhà nghiên cứu cái nhìn sâu sắc về nhiều đặc tính vật liệu ở quy mô vi mô đến nano.
Nghiên cứu và phát triển chất bán dẫn
Sự phức tạp ngày càng tăng của cấu trúc thiết bị bán dẫn, cùng với việc thu hẹp kích thước cấu trúc, có nghĩa là việc thiết kế các thiết bị thế hệ tiếp theo phức tạp và tốn thời gian hơn. Điều này, cùng với thực tế là số lượng các lựa chọn công nghệ và thiết kế sẵn có ngày càng tăng, có nghĩa là xác suất thành công về mặt thương mại của bất kỳ thiết kế cụ thể nào sẽ thấp hơn. Do đó, các nhà sản xuất thiết bị cần các thiết bị đáng tin cậy để giúp giảm số lượng tùy chọn khả thi có sẵn và giúp họ triển khai giải pháp nhanh hơn.
Phân tích lỗi bán dẫn
Các thiết bị phân tích nâng cao có thể phát hiện bất kỳ lỗi điện ảnh hưởng đến năng suất, độ tin cậy hoặc hiệu suất. Do đó, có thể giảm thời gian và chi phí liên quan đến việc cách ly lỗi điện bằng cách trích xuất nhanh chóng dữ liệu lỗi toàn diện từ mẫu.
Công nghệ hiển thị bán dẫn
Công nghệ hiển thị đang phát triển để cải thiện chất lượng hiển thị và hiệu suất chuyển đổi ánh sáng.
Quang phổ tán sắc năng lượng
Quang phổ tán sắc năng lượng (EDS) thu thập thông tin nguyên tố chi tiết cùng với hình ảnh kính hiển vi điện tử, cung cấp bối cảnh thành phần quan trọng cho các quan sát EM. Với EDS, thành phần hóa học có thể được xác định từ việc quét bề mặt nhanh chóng, toàn diện đến từng nguyên tử.
Chụp cắt lớp 3D EDS
Nghiên cứu vật liệu hiện đại ngày càng phụ thuộc vào phân tích ba chiều ở cấp độ nano. Có thể mô tả đặc tính 3D, bao gồm dữ liệu thành phần cho bối cảnh hóa học và cấu trúc đầy đủ bằng phương pháp quang phổ tia X 3D EM và phân tán năng lượng.
EDS độ phân giải nguyên tử
EDS có độ phân giải nguyên tử cung cấp bối cảnh hóa học tối ưu cho việc phân tích vật liệu bằng cách phân biệt danh tính nguyên tố của từng nguyên tử. Khi kết hợp với TEM độ phân giải cao, có thể quan sát chính xác tổ chức của các nguyên tử trong mẫu.
Phân tích nguyên tố EDS
Phần mềm lập bản đồ nguyên tố hiện tượng nhiệt khoa học cung cấp thông tin nhanh chóng và đáng tin cậy về sự phân bố các nguyên tố hóa học trong mẫu.
Phổ tổn hao năng lượng điện tử (EELS)
Nghiên cứu khoa học vật liệu được hưởng lợi từ EELS có độ phân giải cao cho nhiều ứng dụng phân tích. Điều này bao gồm ánh xạ nguyên tố có thông lượng cao, tỷ lệ tín hiệu trên nhiễu cao, cũng như thăm dò các trạng thái oxy hóa và phonon bề mặt.
Thử nghiệm in situ
Cần phải quan sát trực tiếp, theo thời gian thực các thay đổi cấu trúc vi mô bằng kính hiển vi điện tử để hiểu các nguyên tắc cơ bản của các quá trình động như kết tinh lại, phát triển hạt và chuyển pha trong quá trình gia nhiệt, làm lạnh hoặc thấm ướt
Phân tích hạt
Phân tích hạt đóng một vai trò quan trọng trong nghiên cứu vật liệu nano và kiểm soát chất lượng. Độ phân giải ở quy mô nanomet và hình ảnh vượt trội của kính hiển vi điện tử có thể được kết hợp với phần mềm chuyên dụng để xác định nhanh đặc tính của bột và hạt.
Phân tích đa quy mô
Các vật liệu mới phải được phân tích ở độ phân giải cao hơn trong khi vẫn giữ được lượng lớn hơn của mẫu. Phân tích đa quy mô cho phép tương quan giữa các công cụ và phương thức hình ảnh khác nhau như X-quang microCT, DualBeam, Laser PFIB, SEM và TEM.
Hình ảnh và phân tích TEM
Kính hiển vi điện tử truyền qua Thermo Scientific cung cấp hình ảnh và phân tích độ phân giải cao của các thiết bị bán dẫn, cho phép nhà sản xuất hiệu chỉnh bộ công cụ, chẩn đoán cơ chế hỏng hóc và tối ưu hóa năng suất quy trình tổng thể.
Tự động hóa quy trình phân tích hạt
Quy trình phân tích hạt nano tự động (APW) là quy trình làm việc bằng kính hiển vi điện tử truyền qua để phân tích hạt nano, cung cấp hình ảnh diện rộng, độ phân giải cao và thu thập dữ liệu ở cấp độ nano, với khả năng xử lý nhanh chóng.
EN